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提升LAM Kiyo陶瓷靜電吸盤清潔效能：Foamtec產品解決方案
提升LAM Kiyo陶瓷靜電吸盤清潔效能：Foamtec產品解決方案
更新時間: 07/11/2025 上傳者: 59Clean
維持 LAM Kiyo 陶瓷靜電吸盤（ESC）清潔度是提升 Kiyo 系統效能的關鍵。
污染物堆積（包括頑固的聚合物殘留和微粒）會顯著影響晶圓品質和製程良率。憑藉豐富的經驗和專業知識，Foamtec 提供一系列完整的清潔產品，專為解決 Kiyo ESC 清潔過程中的各項挑戰，確保設備穩定運作並提升生產效率。
Foamtec針對Kiyo ESC的專業清潔方案
Foamtec的清潔解決方案能讓設備技術人員徹底且安全地清除Kiyo ESC上的製程殘留，同時將精密陶瓷表面受損風險降至最低。我們的產品配方能消除污染根源。例如傳統清潔布可能產生的纖維脫落問題，這些纖維可能導致電弧放電並損壞吸盤。
-針對頑固聚合物的深層清潔：HT4580DC3-1 ScrubDISKS搭配HT951 ErgoSCRUB手工具，利用其研磨特性有效處理頑固聚合物堆積。這組搭配能實現高效清潔，同時不損害ESC表面。
-升降針孔的精密清潔：特殊造型設計的HT1860 Etch ESC Lift Pin Hole Swab能徹底清除精密升降針孔中的污染物，且不會損傷這些關鍵部件。
-高效清潔：HT4754 UltraSOLV海綿最適合用於ESC吸盤的初步擦拭，能有效去除鬆散污染物。至於最終精密清潔，HT5790S MiraWIPE或HT5790S-EHS MiraSAT搭配UV燈和PolyCHECK擦拭布，可徹底檢查並消除殘留微粒。
使用Foamtec清潔產品處理Kiyo ESC的主要優勢
-提升Kiyo系統性能：如LAM Research官網所述，有效去除污染物有助維持ESC吸盤最佳性能。
-減少晶圓缺陷：維持 ESC 吸盤潔淨有助於避免微粒污染，減少晶圓瑕疵與報廢率。
-提高安全性和效率：Foamtec清潔產品設計兼顧操作人員和設備的安全，同時透過高效清潔程序最大限度減少設備停機時間。
-符合半導體製造標準：我們的產品配方符合半導體製造所需的嚴格潔淨度標準。
Foamtec —— Kiyo ESC 清潔上的可靠夥伴
原文連結:https://www.foamtecintlwcc.com/optimizing-lam-kiyo-ceramic-esc-chuck-cleaning-with-foamtec-products/