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优化LAM Kiyo陶瓷静电吸盘清洁：Foamtec产品解决方案
优化LAM Kiyo陶瓷静电吸盘清洁：Foamtec产品解决方案
更新时间: 07/10/2025 上传者: 59Clean
保持LAM Kiyo陶瓷静电吸盘（ESC）的清洁度是提升Kiyo系统性能的关键。污染物堆积（包括顽固的聚合物残留和微粒）会显著影响晶圆质量和制程良率。凭借丰富的经验和专业知识，Foamtec提供一系列完整的清洁产品，专为解决Kiyo ESC清洁过程中的各项挑战，确保设备稳定运行并提升生产效率。
Foamtec针对Kiyo ESC的专业清洁方案
Foamtec的清洁解决方案能让设备技术人员彻底且安全地清除Kiyo ESC上的制程残留，同时将精密陶瓷表面受损风险降至最低。我们的产品配方能消除污染根源。例如传统清洁布可能产生的纤维脱落问题，这些纤维可能导致电弧放电并损坏吸盘。
- 针对顽固聚合物的深层清洁：HT4580DC3-1 ScrubDISKS搭配HT951 ErgoSCRUB手工具，利用其研磨特性有效处理顽固聚合物堆积。这组搭配能实现高效清洁，同时不损害ESC表面。
- 升降针孔的精密清洁：特殊造型设计的HT1860 Etch ESC Lift Pin Hole Swab能彻底清除精密升降针孔中的污染物，且不会损伤这些关键部件。
- 高效清洁：HT4754 UltraSOLV海绵最适合用于ESC吸盘的初步擦拭，能有效去除松散污染物。至于最终精密清洁，HT5790S MiraWIPE或HT5790S-EHS MiraSAT搭配UV灯和PolyCHECK擦拭布，可彻底检查并消除残留微粒。
使用Foamtec清洁产品处理Kiyo ESC的主要优势
- 提升Kiyo系统性能：如LAM Research官网所述，有效去除污染物有助于维持ESC吸盘最佳性能。
- 减少晶圆缺陷：维持ESC吸盘洁净有助于避免微粒污染，减少晶圆瑕疵与报废率。
- 提高安全性和效率：Foamtec清洁产品设计兼顾操作人员和设备的安全，同时通过高效清洁程序最大限度减少设备停机时间。
- 符合半导体制造标准：我们的产品配方符合半导体制造所需的严格洁净度标准。
Foamtec —— Kiyo ESC清洁的可靠伙伴
原文链接: https://www.foamtecintlwcc.com/optimizing-lam-kiyo-ceramic-esc-chuck-cleaning-with-foamtec-products/